注意事项：
一、 扩散泵油应密封存放，不准混入其它类油、水分和杂质。
二、 换油时应先对扩散泵进行清洗，然后烘干再按规定量加入扩散泵油。
加入新油后若极限压强或抽气速度达不到要求，应检查真空系统是否漏气，各喷嘴装配是否正确，前级真空度、加热电压、测量规管、仪表及导线等是否正常。