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机械真空泵为一种变容式气体传输泵，当工作室的容积变得最小时，即与真空泵的入气管连通，于是气体就进入逐渐变大的工作室空间；当工作室的容积扩大时，即与入气管分开
目前用油做工作介质或润滑的获得高真空的真空泵主要是由蒸汽流泵、分子泵，油蒸汽流泵是以油作为工作介质，获得中真空和高真空的主要泵
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